?對位平臺是高精度自動化領(lǐng)域中的部件。使用以及經(jīng)過長時間的使用都是要對齊進(jìn)行校準(zhǔn)的，只有校準(zhǔn)才會在后期使用過程中減少誤差的出現(xiàn)，從而減少不良率。那么對位平臺該如何校準(zhǔn)呢？下面小編就為您詳細(xì)的講解一下。
1、首先需要獲取三組以上，且不同線的X方向和Y方向的預(yù)設(shè)平移量后，根據(jù)其對應(yīng)關(guān)系和預(yù)設(shè)平移量，確定對位平臺中各個工作軸的移動量，并控制各個工作軸，根據(jù)移動量進(jìn)行移動，實現(xiàn)平移；
2、根據(jù)標(biāo)記點在平移前后的平臺坐標(biāo)變化量和圖像坐標(biāo)變化量，計算類型參數(shù)，具體的類型參數(shù)包括：圖像坐標(biāo)系在Y方向的分辨率R Y、圖像坐標(biāo)系在X方向的分辨率Rx、以及圖像坐標(biāo)系和平臺坐標(biāo)系之間的夾角ω;
3、記錄事先預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度α后，根據(jù)對位平臺各個部件之間對應(yīng)關(guān)系和旋轉(zhuǎn)角度α，確定對位平臺中各個工作軸的第二移動量，并控制各個工作軸根據(jù)第二移動量進(jìn)行移動，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)；
4、根據(jù)類型參數(shù)、第二類型參數(shù)和對位平臺在旋轉(zhuǎn)前，所述標(biāo)記點的圖像坐標(biāo)(X0，y0)，獲取對位平臺在移動過程中，標(biāo)記點的圖像坐標(biāo)系和平臺坐標(biāo)系之間的映射關(guān)系，所述映射關(guān)系為：（x1，Y1)為所述標(biāo)記點在移動過程中的平臺坐標(biāo)，（x2，y2)為標(biāo)記點在移動過程中的圖像坐標(biāo)。
5、旋轉(zhuǎn)平移單元，使其達(dá)到一定的旋轉(zhuǎn)角度β，并且控制旋轉(zhuǎn)角度β相對應(yīng)的平移量，控制進(jìn)行相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)和平移；第二計算單元，用于設(shè)定所述標(biāo)記點在旋轉(zhuǎn)和平移前的第二平臺坐標(biāo)為（xK，Yk)，根據(jù)所述標(biāo)記點的平臺坐標(biāo)（X1,Y1)、標(biāo)記點在旋轉(zhuǎn)和平移前的圖像坐標(biāo)（XK,yK)、標(biāo)記點在旋轉(zhuǎn)和平移后的圖像坐標(biāo)以及所述類型參數(shù)，計算第二平臺坐標(biāo)(Xe,Ye)；
6、判斷單元，用于判斷所述第二平臺坐標(biāo)（XK，Yk)和平臺坐標(biāo)（X1Y1)之間的差值是否在規(guī)定的范圍內(nèi)，若是，確定所述第二平臺坐標(biāo)（XK，Yk)為對位平臺在旋轉(zhuǎn)前，標(biāo)記點的平臺坐標(biāo)（Xtl,Ytl),若否。
7、設(shè)定第二平臺坐標(biāo)（XK，Yk)作為平臺坐標(biāo)（X1,Y1),并重新獲取其他預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度，并設(shè)定所述其他預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度為旋轉(zhuǎn)角度β，返回由平移量獲取單元執(zhí)行操作。
